高純度イオン交換樹脂　Muromac HGシリーズ

半導体製造技術の進歩に伴い、半導体デバイスの小型化・高集積化が顕著です。超純水と同様に、電子工業用製品の製造過程で使用される様々な薬品は、高純度化が強く求められています。Muromac　HGシリーズは、時代のニーズに合わせた薬品の更なる高純度化を可能にするために、新たに開発された高純度イオン交換樹脂です。

Muromac　HGシリーズの特徴

・樹脂からの溶出を極力低減するために、樹脂中に含まれる不純金属やTOCを予め低減

・水系および有機溶剤系の電子材料薬品やプロセス液の精製に適応

・ppm、ppbオーダーのイオン性不純物除去が得意

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Muromac　HGシリーズ紹介動画

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